1.1 Данная методика охватывает набор шаблонов распределения участков для измерения однородности свойств тонкой пленки на кремниевой пластине, а также простые процедуры анализа и составления отчета о результатах этих измерений. Целью этой практики является содействие общности подхода к анализу единообразия среди всех сторон, которым необходимо генерировать или оценивать такую информацию, включая производителей основного испытательного оборудования, которое будет использоваться. 1.2 Данная методика предназначена для использования в качестве шаблона для оценки однородности собственных свойств пленки, таких как толщина или состав, а также функциональных характеристик пленки, таких как поверхностное сопротивление и отражательная способность. Полученную информацию можно использовать для оценки однородности самой пленки или процесса формирования слоя. Эта практика не применима напрямую к оценке изменений от пластины к пластине или от партии к партии. 1.3 Эта методика предназначена для использования с любым типом тонкой пленки или слоя или методом формирования, для которого существуют базовые измерительные приборы и возможности, соответствующие интересующему параметру пленки. Эта практика предназначена для таких методов выращивания и осаждения слоев, как эпитаксия, имплантация, термическое и CVD-оксидирование и металлизация, а также для модификации слоев, таких как различные способы травления слоев. 1.4 Эту практику можно использовать с любым методом измерения, процедурой или приборами, которые могут измерить необходимое свойство или характеристику пленки с достаточной точностью и пространственным разрешением, чтобы получить необходимую информацию о пространственной неоднородности пленки. Эта практика сама по себе не содержит подробностей о выполнении каких-либо конкретных измерений. 1.4.2 Не все виды измерений, которые могут потребоваться для оценки однородности тонкой пленки, имеют формальные процедурные стандарты. Методы испытаний F374, F576, F1392, F1393 и F1529 содержат подробную информацию о процедурах измерения, которые можно применять для оценки однородности свойств тонких пленок. 1.4.2 Эта практика не касается сбора или анализа данных об однородности, когда желательно провести более одного измерения на заданную пространственную ячейку, как это обычно делается для измерений плоскостности площадок пластины. 1.5 Данная методика предназначена для оценки плоских или бланкетных пленок, но ее можно применять и к пленкам с рисунком, если размер, форма и распределение рисунка не влияют на пространственное разрешение выбранного метода измерения и заданного выбора места измерения. Если возникает любое из этих помех, пользователь может адаптировать принципы метода к необходимому применению, но интерпретация результатов может измениться. 1.6 Эта практика не дает рекомендаций относительно интерпретации статистических данных, полученных в результате анализа данных, полученных в отношении хороших или плохих заданных значений статистики испытаний, а также не дает рекомендаций относительно решений относительно технологического цикла или оборудования, используемого для получить тонкую пленку, которая была измерена. 1.7 Принципы этой практики могут быть адаптированы для определения однородности свойств объемных кремниевых пластин, таких как содержание межузельного кислорода и удельное сопротивление, но в зависимости от желаемого свойства и выбранного метода измерения изменения, зависящие от глубины, могут быть ошибочно интерпретированы как латеральные изменения. 1.8 Принципы практики могут быть адаптированы к другим системам полупроводниковых материалов, таким как арсенид галлия, но конкретные проблемы, связанные с этими другими материалами, не могут быть решены должным образом в этой практике.