Целью данного метода испытаний является определение процедуры испытаний компонентов, рассматриваемых для установки в газораспределительную систему высокой чистоты. Ожидается, что применение этого метода испытаний позволит получить сопоставимые данные среди компонентов, протестированных в целях квалификации для этой установки. 1.1 Этот метод испытаний охватывает тестирование компонентов на общее содержание углеводородов (THC) в газораспределительной системе при температуре окружающей среды. Кроме того, этот метод испытаний позволяет проводить испытания компонента при повышенных температурах окружающей среды, достигающих 70–176°C. 1.2 Этот метод испытаний применяется к линейным компонентам, содержащим материалы электронного класса в газообразной форме, например те, которые используются в полупроводниковых газораспределительных системах. 1.3 Ограничения: 1.3.1 Этот метод испытаний ограничен чувствительностью существующих приборов, а также временем отклика приборов. Этот метод испытаний не предназначен для использования с компонентами, внешний диаметр которых превышает номинальный размер 12,7 мм (1/2 дюйма). Этот метод испытаний можно применять к более крупным компонентам; однако заявленная объемная скорость потока может не обеспечить адекватного перемешивания для получения репрезентативной пробы. Более высокие скорости потока могут улучшить перемешивание, но привести к чрезмерному разбавлению пробы. 1.3.2 Различные инструментальные методы (такие как пламенно-ионизационный детектор (ПИД), масс-спектрометр (МС)) дадут несопоставимые уровни общего содержания углеводородов (ТГК) из-за разной чувствительности к различным видам молекул. Углеводородные загрязнители газораспределительных систем высокой чистоты можно разделить на две общие категории: (1) неконденсирующиеся углеводороды (lt;C4), которые присутствуют из-за сложности удаления и относительного содержания в атмосфере, и (2) конденсирующиеся углеводороды, которые часто остаются на поверхностях компонентов в виде остатков. К конденсируемым углеводородам относятся насосные масла, обезжиривающие средства и полировочные составы. 1.3.3 Из-за огромного различия видов углеводородов предлагается проводить прямые сравнения только между данными, собранными с использованием одного и того же метода обнаружения. 1.3.4 Этот метод испытаний предназначен для операторов, которые понимают использование аппарата на уровне, эквивалентном шестимесячному опыту. 1.4 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Единицы измерения дюйм-фунт, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 6.
ASTM F1398-93(2005) История
2020ASTM F1398-93(2020) Стандартный метод испытаний для определения общего содержания углеводородов в компонентах газораспределительной системы
2012ASTM F1398-93(2012) Стандартный метод испытаний для определения общего содержания углеводородов в компонентах газораспределительной системы
1993ASTM F1398-93(2005) Стандартный метод испытаний для определения общего содержания углеводородов в компонентах газораспределительной системы
1999ASTM F1398-93(1999) Стандартный метод испытаний для определения общего содержания углеводородов в компонентах газораспределительной системы