ASTM F1261M-96
Стандартный метод испытаний для определения средней электрической ширины прямой тонкопленочной металлической линии [метрическая система]

Стандартный №

ASTM F1261M-96

Дата публикации

1996

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM F1261M-96(2003)

Последняя версия

ASTM F1261M-96(2003)

сфера применения

1.1 Настоящий метод испытаний предназначен для определения средней электрической ширины узкой тонкопленочной линии металлизации. 1.2 Настоящий метод испытаний предназначен для измерения тонких линий металлизации, которые используются в микроэлектронных схемах, где ширина линий может находиться в диапазоне от микрометров до десятых долей микрометра. 1.3 Испытательная структура, используемая в этом методе испытаний, может быть измерена, пока она является частью пластины или ее части, либо частью тестового чипа, прикрепленного к корпусу и электрически доступного посредством клемм корпуса. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F1261M-96 История

• 1996 ASTM F1261M-96(2003) Стандартный метод испытаний для определения средней электрической ширины прямой тонкопленочной металлической линии [метрическая система]
• 1996 ASTM F1261M-96 Стандартный метод испытаний для определения средней электрической ширины прямой тонкопленочной металлической линии [метрическая система]