ASTM E1127-03
Стандартное руководство по профилированию глубины в электронной оже-спектроскопии
- Стандартный №
- ASTM E1127-03
- Дата публикации
- 2003
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM E1127-08
- Последняя версия
- ASTM E1127-08(2015)
- сфера применения
- Электронная оже-спектроскопия дает информацию о химическом и физическом состоянии поверхности твердого тела в приповерхностной области. Неразрушающее глубинное профилирование ограничено этой приповерхностной областью. Методика измерения глубины кратеров и толщины пленки приведена в (35). Ионное распыление в основном используется на глубинах менее порядка 1 мкм. Угловая притирка или механическое кратерирование в основном используется на глубинах более 1 мкм. Выбор методов профилирования по глубине для исследования границы раздела зависит от шероховатости поверхности, шероховатости интерфейса и толщины пленки (1).3 1.1 В настоящем руководстве описаны процедуры, используемые для профилирования по глубине в электронной оже-спектроскопии. 1.2 Для профилирования по глубине даются следующие рекомендации: :Секционно-ионное распыление6Угловая притирка и поперечное сечение7Механическое кратерирование8Неразрушающее профилирование по глубине91.3 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E1127-03 Ссылочный документ
- ASTM E1634 Стандартное руководство по измерению глубины кратера распыления
- ASTM E673 Стандартная терминология, относящаяся к анализу поверхности
- ASTM E684 Стандартная практика приближенного определения плотности тока ионных пучков большого диаметра для профилирования глубины распыления твердых поверхностей
- ASTM E827 Стандартная практика идентификации элементов по пикам в электронной оже-спектроскопии
ASTM E1127-03 История
- 2008 ASTM E1127-08(2015) Стандартное руководство по профилированию глубины в электронной оже-спектроскопии
- 2008 ASTM E1127-08 Стандартное руководство по профилированию глубины в электронной оже-спектроскопии
- 2003 ASTM E1127-03 Стандартное руководство по профилированию глубины в электронной оже-спектроскопии
- 1991 ASTM E1127-91(1997) Стандартное руководство по профилированию глубины в электронной оже-спектроскопии
