ISO/TR 19319:2003 Химический анализ поверхности. Электронная оже-спектроскопия и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Определение латерального разрешения, области анализа и площади образца, просматриваемой анализатором.
В этом техническом отчете представлена информация для измерения (1) поперечного разрешения, (2) площади анализа и (3) площади образца, просматриваемой анализатором в электронной оже-спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии.
ISO/TR 19319:2003 История
2013ISO/TR 19319:2013 Химический анализ поверхности. Фундаментальные подходы к определению латерального разрешения и резкости в лучевых методах.
2003ISO/TR 19319:2003 Химический анализ поверхности. Электронная оже-спектроскопия и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Определение латерального разрешения, области анализа и площади образца, просматриваемой анализатором.