Настоящий международный стандарт определяет основные требования, связанные с контролем и очисткой в чистых помещениях.
JIS B 9917-5:2008 Ссылочный документ
ISO 14644-2:2000 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Спецификации для испытаний и мониторинга для подтверждения постоянного соответствия ISO 14644-1.