BS ISO 18114:2003
Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение коэффициентов относительной чувствительности на основе ионно-имплантированных эталонных материалов.

Стандартный №

BS ISO 18114:2003

Дата публикации

2003

Разместил

British Standards Institution (BSI)

состояние

быть заменен 2021-06

быть заменен

BS ISO 18114:2021

Последняя версия

BS ISO 18114:2021

заменять

02/122922 DC:2002

сфера применения

Настоящий международный стандарт определяет метод определения коэффициентов относительной чувствительности (RSF) для масс-спектрометрии вторичных ионов (SIMS) на основе ионно-имплантированных эталонных материалов. Метод применим к образцам, матрица которых имеет однородный химический состав и в которых пиковая концентрация имплантированных частиц не превышает одного атомного процента.

BS ISO 18114:2003 История

• 2021 BS ISO 18114:2021 Отслеживаемые изменения. Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение коэффициентов относительной чувствительности по ионно-имплантированным эталонным материалам
• 2003 BS ISO 18114:2003 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение коэффициентов относительной чувствительности на основе ионно-имплантированных эталонных материалов.