Настоящий стандарт описывает следующие методы подтверждения газонепроницаемости вакуумных установок: а) метод откачки; б) метод повышения давления; и в) метод масс-спектрометрии.
IS 10688-1983 История
1984IS 10688-1983 Методы проверки герметичности вакуумного оборудования.