Утверждение STSEV 3989-83 было рекомендовано Федеральным министерством электротехнической промышленности. Обработчик: TESLA Рошнов, к, п., Рошнов под Радгоштем -В. Чмелашова Отраслевой центр стандартизации: TESLA Рожнов, к.п., инж. Д. Балашова Сотрудник группы по стандартизации и измерениям: Х. Мусилова
CSN 35 8971 Cast.1-1984 История
1984CSN 35 8971 Cast.1-1984 Полупроводниковые приборы. Подложки для масок и масок. Номенклатура и определения