ISO 14595:2003 Анализ микросхем - Микроанализ с помощью электронов - Линии направления для спецификаций справочных материалов (CRM) (Премьерное издание)
Настоящий международный стандарт дает рекомендации по однофазным сертифицированным эталонным материалам (CRM), используемым в электронно-зондовом микроанализе (EPMA). Он также содержит рекомендации по использованию CRM для микроанализа плоских полированных образцов. Он не распространяется на органические или биологические материалы.
ISO 14595:2003 История
2023ISO 14595:2023 Микролучевой анализ. Электронно-зондовый микроанализ. Руководство по спецификации сертифицированных эталонных материалов (CRM).
2014ISO 14595:2014 Микролучевой анализ. Электронно-зондовый микроанализ. Рекомендации по спецификации сертифицированных эталонных материалов (CRM).
2005ISO 14595:2003/Cor 1:2005 Анализ микросхем - Микроанализ с помощью электронов - Линии управления спецификациями материалов, справочных сертификатов (CRM) МЕТОД ИСПРАВЛЕНИЯ 1 (Премьерное издание)
2003ISO 14595:2003 Анализ микросхем - Микроанализ с помощью электронов - Линии направления для спецификаций справочных материалов (CRM) (Премьерное издание)