BS ISO 17973:2003 Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа.

сфера применения: Настоящий международный стандарт определяет метод калибровки шкал кинетической энергии электронных оже-спектрометров с погрешностью 3 эВ для общего аналитического использования при идентификации элементов на поверхностях. Кроме того, он определяет метод установления графика калибровки. Он применим к приборам, используемым как в прямом, так и в дифференциальном режиме, где разрешение меньше или равно 0,5 %, а амплитуда модуляции для дифференциального режима, если он используется, составляет 2 эВ от пика до пика. Он применим к спектрометрам, оснащенным ионной пушкой инертного газа или другим методом очистки проб, а также электронной пушкой, способной работать при энергии пучка 4 кэВ или выше.

BS ISO 17973:2003 История

2016 BS ISO 17973:2016 Отслеживаемые изменения. Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа
2003 BS ISO 17973:2003 Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа.