DIN EN ISO 10692-1:2003 Газовые баллоны. Соединения клапанов газовых баллонов для использования в микроэлектронной промышленности. Часть 1. Выходные соединения (ISO 10692-1:2001); Немецкая версия EN ISO 10692-1:2001.
Документ распространяется на выпускные соединения клапанов газовых баллонов для газов и газовых смесей и касается особых требований, когда при производстве микроэлектронных компонентов или аналогичных приложениях требуется высочайший уровень чистоты и отсутствия частиц.
DIN EN ISO 10692-1:2003 История
2003DIN EN ISO 10692-1:2003-04 Газовые баллоны. Соединения клапанов газовых баллонов для использования в микроэлектронной промышленности. Часть 1. Выходные соединения (ISO 10692-1:2001)
2003DIN EN ISO 10692-1:2003 Газовые баллоны. Соединения клапанов газовых баллонов для использования в микроэлектронной промышленности. Часть 1. Выходные соединения (ISO 10692-1:2001); Немецкая версия EN ISO 10692-1:2001.