DIN 50451-2:2003
Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение микроэлементов в жидкостях. Часть 2. Кальций (Ca), кобальт (Co), хром (Cr), медь (Cu), железо (Fe), никель (Ni) и цинк (Zn). ) в плавиковой кислоте со спектрами индуцированной плазмой эмиссии
- Стандартный №
- DIN 50451-2:2003
- Дата публикации
- 2003
- Разместил
- German Institute for Standardization
- состояние
- быть заменен
- DIN 50451-2:2003-04
- Последняя версия
- DIN 50451-2:2003-04
- заменять
- DIN 50451-2:1990 DIN 50451-2:2002
- сфера применения
- В документе указан метод тестирования плавиковой кислоты на наличие следов металлов кобальта (Co), хрома (Cr), меди (Cu), железа (Fe) и никеля (Ni), имеющих отношение к полупроводниковой технологии. Для определения используют эмиссионную спектроскопию с плазменным возбуждением (например, индуктивно-связанной плазмой (ИСП) или плазмой постоянного тока (ДКП)). Диапазон применения охватывает массовые доли микроэлементов от 1 нг/г до 1000 нг/г.#,,#
DIN 50451-2:2003 История
- 2003 DIN 50451-2:2003-04 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение микроэлементов в жидкостях. Часть 2. Кальций (Ca), кобальт (Co), хром (Cr), медь (Cu), железо (Fe), никель (Ni) и цинк (Zn). ) в плавиковой кислоте со спектром плазменно-индуцированной эмиссии...
- 2003 DIN 50451-2:2003 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение микроэлементов в жидкостях. Часть 2. Кальций (Ca), кобальт (Co), хром (Cr), медь (Cu), железо (Fe), никель (Ni) и цинк (Zn). ) в плавиковой кислоте со спектрами индуцированной плазмой эмиссии
- 0000 DIN 50451-2:2002
- 0000 DIN 50451-2:1990
