ISO 17973:2002
Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа.
- Стандартный №
- ISO 17973:2002
- Дата публикации
- 2002
- Разместил
- International Organization for Standardization (ISO)
- состояние
- быть заменен
- ISO 17973:2016
- Последняя версия
- ISO 17973:2016
- сфера применения
- Настоящий международный стандарт определяет метод калибровки шкал кинетической энергии электронных оже-спектрометров с погрешностью 3 эВ для общего аналитического использования при идентификации элементов на поверхностях. Кроме того, он определяет метод установления графика калибровки. Он применим к приборам, используемым как в прямом, так и в дифференциальном режиме, где разрешение меньше или равно 0,5 %, а амплитуда модуляции для дифференциального режима, если он используется, составляет 2 эВ от пика до пика. Он применим к спектрометрам, оснащенным ионной пушкой инертного газа или другим методом очистки проб, а также электронной пушкой, способной работать при энергии пучка 4 кэВ или выше.
ISO 17973:2002 История
- 2016 ISO 17973:2016 Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа.
- 2002 ISO 17973:2002 Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа.
