ISO 17974:2002
Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры высокого разрешения. Калибровка энергетических шкал для анализа элементного и химического состояния.
- Стандартный №
- ISO 17974:2002
- Дата публикации
- 2002
- Разместил
- International Organization for Standardization (ISO)
- Последняя версия
- ISO 17974:2002
- сфера применения
- Настоящий международный стандарт определяет метод калибровки шкал кинетической энергии электронных оже-спектрометров, используемых для анализа элементного и химического состояния поверхностей. Он также определяет график калибровки для проверки линейности шкалы кинетической энергии при одной промежуточной энергии, для подтверждения неопределенности калибровки шкалы при одном низком и одном высоком значении кинетической энергии, для корректировки небольших отклонений этой шкалы и для определения расширенной неопределенности. калибровки шкалы кинетической энергии с уровнем достоверности 95 % (эта неопределенность включает в себя влияние поведения, наблюдаемого в межлабораторных исследованиях, но не покрывает все возможные дефекты). Он применим только к приборам, оснащенным ионной пушкой для очистки напылением. Он не применим к приборам с ошибками шкалы кинетической энергии, существенно нелинейными по энергии. Он также не применим к приборам, работающим с относительным разрешением менее 0,2 % в режиме постоянного △EIE или 1,5 эВ в режиме постоянного △E, к приборам, требующим пределов допуска ±0,05 эВ или менее, а также к приборам, те, у кого есть электронная пушка, которая не может работать в диапазоне энергий от 5 до 10 кэВ. Он не обеспечивает полную проверку калибровки для подтверждения энергии, измеренной в каждой адресной точке шкалы энергии, и выполняется в соответствии с рекомендациями производителя.
ISO 17974:2002 История
- 2002 ISO 17974:2002 Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры высокого разрешения. Калибровка энергетических шкал для анализа элементного и химического состояния.
