Настоящий международный стандарт определяет масс-спектрометрический метод вторичных ионов с использованием магнитно-секторных или квадрупольных масс-спектрометров для определения профиля бора в кремнии по глубине, а также с использованием стилусной профилометрии или оптической интерферометрии для калибровки шкалы глубины. Этот метод применим к образцам монокристаллического, поликристаллического или аморфного кремния с концентрацией атомов бора от 1 × 10 атомов/см до 1 × 10 атомов/см и к кратерам глубиной 50 нм или глубже.
BS ISO 17560:2002 История
2014BS ISO 17560:2014 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод глубинного профилирования бора в кремнии
2002BS ISO 17560:2002 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод глубинного профилирования бора в кремнии.