International Organization for Standardization (ISO)
Последняя версия
ISO 3530:1979
сфера применения
Описаны только течеискатели, которые имеют встроенную систему высокого вакуума для поддержания чувствительного элемента масс-спектрометра при низком давлении. Описаны две процедуры: одна для определения минимальной обнаруживаемой скорости утечки, а другая для определения минимального обнаруживаемого коэффициента концентрации.
ISO 3530:1979 История
1979ISO 3530:1979 Вакуумная технология; Калибровка течеискателя масс-спектрометрического типа