ISO/TR 22335:2007
Химический анализ поверхности. Профилирование по глубине. Измерение скорости распыления: метод реплики сетки с использованием механического щупового профилометра.

Стандартный №

ISO/TR 22335:2007

Дата публикации

2007

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

Последняя версия

ISO/TR 22335:2007

сфера применения

В этом техническом отчете описан метод определения скорости ионного распыления для измерения профиля глубины с помощью электронной оже-спектроскопии (AES) и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS), при котором образец ионно распыляется на область площадью от 0,4 мм2. и 3,0 мм2. Настоящий технический отчет применим только к латерально однородному объемному или однослойному материалу, где скорость ионного распыления определяется по глубине распыления, измеренной механическим щуповым профилометром, и времени распыления. В этом техническом отчете представлен метод преобразования шкалы времени ионного распыления в глубину распыления в профиле глубины, предполагая постоянную скорость распыления. Этот метод не был разработан и не тестировался с использованием системы сканирующего зондового микроскопа. Он не применим в случае, когда площадь напыления составляет менее 0,4 мм2 или когда шероховатость поверхности, вызванная напылением, значительна по сравнению с измеряемой глубиной напыления.

ISO/TR 22335:2007 История

• 2007 ISO/TR 22335:2007 Химический анализ поверхности. Профилирование по глубине. Измерение скорости распыления: метод реплики сетки с использованием механического щупового профилометра.