Настоящий стандарт определяет важнейшие величины, характеризующие характеристики рентгеновских энергетических спектрометров (ЭДС) на основе полупроводниковых детекторов, предусилителей и систем обработки сигналов. Этот стандарт применим только к полупроводниковым детекторам EDS, основанным на современном принципе ионизации. Этот стандарт устанавливает только минимальные требования для этого типа ЭЦП, используемого совместно с электронным зондом (ЭПМА) или сканирующим электронным микроскопом (СЭМ). Что касается того, как реализовать анализ, это выходит за рамки настоящего стандарта.
GB/T 20726-2006 История
2015GB/T 20726-2015 Микролучевой анализ. Отдельные параметры аппаратуры для спецификации и проверки энергодисперсионных рентгеновских спектрометров для использования в электронно-зондовом микроанализе.
2006GB/T 20726-2006 Технические характеристики энергодисперсионных рентгеновских спектрометров с полупроводниковыми детекторами