Настоящий международный стандарт определяет термины, используемые в практике электронно-зондового микроанализа (ЭПМА). Он охватывает как общие, так и частные понятия, классифицированные в соответствии с их иерархией в систематическом порядке. Настоящий международный стандарт применим ко всем документам по стандартизации, имеющим отношение к практике EPMA. Кроме того, некоторые части настоящего международного стандарта применимы к документам, относящимся к практике смежных областей (например, SEM, AEM, EDX), для определения общих для них терминов.
ISO 23833:2006 История
2013ISO 23833:2013 Микролучевой анализ - Электронно-зондовый микроанализ (ЭПМА) - Словарь
2006ISO 23833:2006 Микролучевой анализ - Электронно-зондовый микроанализ (ЭПМА) - Словарь