GJB/J 5463-2005
Правила поверки средств измерения показателя преломления и толщины оптических пленок (Англоязычная версия)

Стандартный №

GJB/J 5463-2005

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2005

Разместил

Military Standard of the People's Republic of China-Commission of Science,Technology and Industry for National Defence

Последняя версия

GJB/J 5463-2005

сфера применения

Настоящий регламент проверки определяет технические требования к проверке, объекты проверки, условия проверки, методы проверки, обработку результатов проверки и цикл проверки эллипсометрического измерителя показателя преломления и толщины оптической пленки (далее - тестер) со спектральным диапазоном от 250 до 1700 нм. . Настоящие правила проверки применяются к проверке вновь изготовленных, находящихся в эксплуатации и отремонтированных тестеров.

GJB/J 5463-2005 История

• 2005 GJB/J 5463-2005 Правила поверки средств измерения показателя преломления и толщины оптических пленок