GB/T 20175-2006 Химический анализ поверхности. Определение профиля глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов. (Англоязычная версия)
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия
GB/T 20175-2006
сфера применения
Чтобы оптимизировать настройки приборов для электронной оже-спектроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и масс-спектрометрии вторичных ионов для достижения разрешения по глубине, в настоящем стандарте используются соответствующие эталонные материалы однослойной и многослойной пленочной системы для обеспечения оптимизированного анализа глубины распыления. Руководство по параметрам. Настоящий стандарт не распространяется на использование специальных многослойных систем (например, различных систем легированных слоев).
GB/T 20175-2006 История
2006GB/T 20175-2006 Химический анализ поверхности. Определение профиля глубины распыления. Оптимизация с использованием слоистых систем в качестве эталонных материалов.