BS EN 15042-1:2006
Измерение толщины покрытий и характеристика поверхностей поверхностными волнами - Руководство по определению упругих констант, плотности и толщины пленок лазерно-индуцированными поверхностными акустическими волнами

Стандартный №

BS EN 15042-1:2006

Дата публикации

2006

Разместил

British Standards Institution (BSI)

Последняя версия

BS EN 15042-1:2006

сфера применения

В настоящем документе приведены рекомендации по методам определения упругих констант, плотности и толщины тонких пленок с помощью лазерно-индуцированных поверхностных акустических волн. Он определяет термины и описывает процедуры.

BS EN 15042-1:2006 Ссылочный документ

• EN ISO 11145:2001 Оптика и оптические инструменты. Лазеры и лазерное оборудование. Словарь и символы.

BS EN 15042-1:2006 История

• 2006 BS EN 15042-1:2006 Измерение толщины покрытий и характеристика поверхностей поверхностными волнами - Руководство по определению упругих констант, плотности и толщины пленок лазерно-индуцированными поверхностными акустическими волнами