Эта часть ISO 14644 определяет основные требования к работе чистых помещений. Он предназначен для тех, кто планирует использовать и эксплуатировать чистое помещение. Аспекты безопасности, которые не имеют прямого отношения к контролю загрязнения, не рассматриваются в этой части ISO 14644, и необходимо соблюдать национальные и местные правила техники безопасности. В этом документе рассмотрены все классы чистых помещений, используемых для производства всех видов продукции. Таким образом, он имеет широкое применение и не учитывает конкретные требования для отдельных отраслей. Методы и программы регулярного мониторинга в чистых помещениях подробно не описаны в этой части ISO 14644, но даны ссылки на ISO 14644-2 и ISO 14644-3 для мониторинга частиц, а также ISO 14698-1 и ISO 14698-2 для мониторинга микрочастиц. организмы.
ANSI/IEST/ISO 14644-5:2004 История
2006ANSI/IEST/ISO 14644-5:2004 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5: Операции