Настоящий стандарт определяет классификацию, технические требования, методы испытаний, правила проверки, маркировку, упаковку и хранение диффундирующих кремниевых пьезорезистивных вакуумметров (называемых вакуумметрами). Настоящий стандарт распространяется на кремниевые диффузионные пьезорезистивные вакуумметры с измерительным давлением (100-1×10) Па.