GB/T 19921-2005
Метод испытания частиц на поверхности кремниевых пластин (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 19921-2005

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2005

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

состояние

быть заменен 2019-07

быть заменен

GB/T 19921-2018

Последняя версия

GB/T 19921-2018

сфера применения

Этот стандарт определяет процедуры тестирования, подсчета и отчетности о частицах на поверхности полированных кремниевых пластин с использованием системы сканирования поверхности (SSIS). Настоящий стандарт распространяется на кремниевые полированные пластины, а также может применяться к кремниевым эпитаксиальным пластинам или другим пластинам с зеркальной полировкой (например, пластинам со сложной полировкой). Настоящий стандарт также применим для обнаружения царапин, «апельсиновой корки», ямок, ряби и других дефектов на поверхности полированных кремниевых пластин, однако обнаружение и классификация этих дефектов зависят от функции оборудования и связаны с исходными настройками. во время обнаружения. Примечание. В методах, предусмотренных настоящим стандартом, обычно используется источник лазерного света с длиной волны (48–633) нм. Чаще всего используется аргоновый ионный лазер с длиной волны 488 нм; минимальный диаметр частиц, который можно измерить в настоящее время, составляет 0,06 мкм или меньше.

GB/T 19921-2005 Ссылочный документ

• ASTM F1620-96 Стандартная практика калибровки системы контроля сканирующей поверхности с использованием монодисперсных полистирольных латексных сфер, нанесенных на полированные или эпитаксиальные поверхности пластин
• ASTM F1621-96 Стандартная практика определения точности позиционирования системы контроля сканирующей поверхности

GB/T 19921-2005 История

• 2018 GB/T 19921-2018 Метод испытания частиц на полированных поверхностях кремниевых пластин
• 2005 GB/T 19921-2005 Метод испытания частиц на поверхности кремниевых пластин