Настоящий международный стандарт определяет метод калибровки шкал энергии связи рентгеновских фотоэлектронных спектрометров для общих аналитических целей с использованием немонохроматированных рентгеновских лучей Al или Mg или монохроматированных рентгеновских лучей Al. Это применимо только к инструментам, оснащенным ионной пушкой для очистки напылением. Настоящий международный стандарт дополнительно определяет метод установления графика калибровки, проверки линейности шкалы энергии связи при одной промежуточной энергии, подтверждения неопределенности калибровки шкалы при одном низком и одном высоком значении энергии связи, корректировке небольших значений. дрейфы этого масштаба и определить расширенную неопределенность калибровки шкалы энергии связи для уровня достоверности 95 %. Эта неопределенность включает в себя вклад в поведение, наблюдаемое в межлабораторных исследованиях, но не охватывает все возможные дефекты. Настоящий международный стандарт не применим к приборам с ошибками шкалы энергии связи, существенно нелинейными с энергией, к приборам, работающим в режиме постоянного коэффициента запаздывания при коэффициентах запаздывания менее 10, к приборам с разрешением спектрометра хуже 1,5. эВ или к приборам, для которых допустимые пределы составляют ±0,03 эВ или менее. Настоящий международный стандарт не обеспечивает полную калибровочную проверку, которая подтверждала бы энергию, измеренную в каждой адресуемой точке шкалы энергии, и которую необходимо было бы выполнять в соответствии с процедурами, рекомендованными производителем.
ISO 15472:2001 История
2010ISO 15472:2010 Химический анализ поверхности - Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры - Калибровка энергетических шкал
2001ISO 15472:2001 Химический анализ поверхности - Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры - Калибровка энергетических шкал