DIN 50453-3:2001
Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение скорости травления травильных смесей. Часть 3. Алюминий, гравиметрический метод.
- Стандартный №
- DIN 50453-3:2001
- Дата публикации
- 2001
- Разместил
- German Institute for Standardization
- состояние
- Последняя версия
- DIN 50453-3:2001
- сфера применения
- В документе указан метод испытаний для определения скорости травления травильных смесей на алюминиевых подложках. Он дополняет химический анализ, который является более дорогим и не дает информации о травительных характеристиках травильных смесей.
DIN 50453-3:2001 История
- 2001 DIN 50453-3:2001 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение скорости травления травильных смесей. Часть 3. Алюминий, гравиметрический метод.
