JIS H 0609:1999
Методы контроля кристаллических дефектов кремния методами избирательного травления

Стандартный №

JIS H 0609:1999

Дата публикации

1999

Разместил

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Последняя версия

JIS H 0609:1999

заменять

JIS H 0609:1994

сфера применения

Настоящий стандарт определяет методы обнаружения и определения дефектов кремниевых пластин с использованием селективного травителя, не содержащего шестивалентного хрома. Объектами являются монокристаллические пластины, эпитаксиальные пластины и их термически окисленные пластины, а ориентация их кристаллических плоскостей — плоскость {100}, плоскость {lll} и плоскость {5ll}.

JIS H 0609:1999 История

• 1999 JIS H 0609:1999 Методы контроля кристаллических дефектов кремния методами избирательного травления
• 1994 JIS H 0609:1994 Методы контроля кристаллических дефектов кремния методами избирательного травления