DIN 50455-2:1999
Испытание материалов для полупроводниковой техники - Методы характеристики фоторезистов - Часть 2. Определение фоточувствительности позитивных фоторезистов
- Стандартный №
- DIN 50455-2:1999
- Дата публикации
- 1999
- Разместил
- German Institute for Standardization
- состояние
- быть заменен
- DIN 50455-2:1999-11
- Последняя версия
- DIN 50455-2:1999-11
- сфера применения
- Способ согласно документу охватывает характеристику фоторезистов путем сравнения определенной фоточувствительности однослойного позитивного фоторезиста на кремниевых пластинах с эталонным фоторезистом.
DIN 50455-2:1999 История
- 1999 DIN 50455-2:1999-11 Испытание материалов для полупроводниковой техники - Методы характеристики фоторезистов - Часть 2. Определение фоточувствительности позитивных фоторезистов
- 1999 DIN 50455-2:1999 Испытание материалов для полупроводниковой техники - Методы характеристики фоторезистов - Часть 2. Определение фоточувствительности позитивных фоторезистов
