GB/T 17874-1999
Газы для электронной промышленности - трихлорид бора. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 17874-1999
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1999
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2011-05
- быть заменен
- GB/T 17874-2010
- Последняя версия
- GB/T 17874-2021
- сфера применения
- Настоящий стандарт устанавливает требования, методы контроля, правила контроля, упаковку, маркировку, транспортировку, хранение и требования безопасности к газообразному трихлориду бора, используемому в электронной промышленности. Настоящий стандарт применим к трихлориду бора, полученному с использованием сырого трихлорида бора в качестве сырья и очищенному методами адсорбции и дистилляции. В основном он используется в диффузионных, ионных имплантациях и сухих методах, используемых при производстве кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем в электронной промышленности. Травление и другие процессы.
GB/T 17874-1999 История
- 2021 GB/T 17874-2021 Специальный электронный газ — трихлорид бора.
- 2011 GB/T 17874-2010 Газы для электронной промышленности.Трихлорид бора
- 1999 GB/T 17874-1999 Газы для электронной промышленности - трихлорид бора.
