DIN 50441-2:1998
Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение геометрических размеров полупроводниковых пластин. Часть 2. Испытание краевого профиля.

Стандартный №

DIN 50441-2:1998

Дата публикации

1998

Разместил

German Institute for Standardization

состояние

снять со счета

Последняя версия

DIN 50441-2:1998

сфера применения

В документе указаны четыре метода испытаний для определения профиля края полупроводниковых пластин. Три метода основаны на оптической проекции, четвертый метод предполагает определение длины профиля с помощью измерительного микроскопа.#,,#

DIN 50441-2:1998 История

• 1998 DIN 50441-2:1998 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение геометрических размеров полупроводниковых пластин. Часть 2. Испытание краевого профиля.