GB/T 17169-1997
Метод испытания качества поверхности полированных кремниевых и эпитаксиальных пластин методом оптического отражения (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 17169-1997

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

1997

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

состояние

снять со счета

Последняя версия

GB/T 17169-1997

сфера применения

Этот стандарт определяет метод неразрушающего контроля с отражением света для выявления распространенных дефектов на поверхности полупроводниковых кремниевых полированных пластин и эпитаксиальных пластин. Настоящий стандарт распространяется на неразрушающий контроль качества поверхности полупроводниковых кремниевых полированных и эпитаксиальных пластин. Результаты испытаний этого стандарта соответствуют результатам GB/T6624 и GB/T14142.

GB/T 17169-1997 История

• 1997 GB/T 17169-1997 Метод испытания качества поверхности полированных кремниевых и эпитаксиальных пластин методом оптического отражения