Этот стандарт определяет общие вопросы использования сканирующего электронного микроскопа для наблюдения и анализа морфологии мельчайших участков на поверхности образца с использованием преимущественно вторичных электронов.
JIS K 0132:1997 История
1997JIS K 0132:1997 Общие правила проведения сканирующей электронной микроскопии