JIS H 0615:1996
Методика определения концентрации примесей в кристалле кремния методом фотолюминесцентной спектроскопии

Стандартный №

JIS H 0615:1996

Дата публикации

1996

Разместил

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

состояние

быть заменен

быть заменен

JIS H 0615 ERRATUM 1:2006

Последняя версия

JIS H 0615:2021

сфера применения

Настоящий стандарт устанавливает метод определения концентрации примесей монокристаллического и мультикристаллического кремния методом фотолюминесценции. Измеримыми элементами-примесями являются бор (B), алюминий (Al), фосфор (P) и мышьяк (As), а диапазон измеряемых концентраций составляет от 1×1011 до 5×015 атомов/см3 (от 0,002 до 100 частей на миллиард).

JIS H 0615:1996 История

• 2021 JIS H 0615:2021 Методика определения концентрации примесей в кристалле кремния методом фотолюминесцентной спектроскопии
• 2006 JIS H 0615 ERRATUM 1:2006 ОШИБКА
• 1996 JIS H 0615:1996 Методика определения концентрации примесей в кристалле кремния методом фотолюминесцентной спектроскопии