DIN 50450-1:1987 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение примеси воды в водороде, кислороде, азоте, аргоне и гелии с помощью ячейки с пятиокисью дифосфора
Стандарт определяет метод испытаний для определения примесей воды в газах-носителях и легирующих газах (H2, O, N, Ar, He), используемых в полупроводниковой технологии.
DIN 50450-1:1987 История
1987DIN 50450-1:1987-08 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение примеси воды в водороде, кислороде, азоте, аргоне и гелии с помощью ячейки с пятиокисью дифосфора
1987DIN 50450-1:1987 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение примеси воды в водороде, кислороде, азоте, аргоне и гелии с помощью ячейки с пятиокисью дифосфора