JIS H 0602:1995
Метод испытания удельного сопротивления кристаллов и кремниевых пластин четырехточечным зондом

Стандартный №

JIS H 0602:1995

Дата публикации

1995

Разместил

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Последняя версия

JIS H 0602:1995

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод определения удельного сопротивления монокристаллов кремния (далее - монокристаллы) и кремниевых пластин (далее - пластин) с использованием четырехзондового метода постоянного тока. Диапазон измеряемого удельного сопротивления должен составлять от 0,001 до 2000 Ом·см для типа P и от 0,001 до 6000 Ом·см для типа N.

JIS H 0602:1995 История

• 1995 JIS H 0602:1995 Метод испытания удельного сопротивления кристаллов и кремниевых пластин четырехточечным зондом