DIN 50450-2:1991 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение примеси кислорода в N, Ar, He, Ne и H с помощью гальванического элемента
Стандарт должен определять метод испытаний для определения содержания O в газах-носителях и легирующих газах N, Ar, He, Ne и H.#,,#
DIN 50450-2:1991 История
1991DIN 50450-2:1991-03 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение примеси кислорода в N<(Индекс)2>, Ar, He, Ne и H<(Индекс)2>; с помощью гальванического элемента
1991DIN 50450-2:1991 Испытание материалов для полупроводниковой техники; определение примесей в газах-носителях и легирующих газах; определение примеси кислорода в N, Ar, He, Ne и H с помощью гальванического элемента