DIN 50452-1:1995 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Метод испытаний для анализа частиц в жидкостях. Часть 1. Микроскопическое определение частиц.
Этот метод охватывает определение концентрации твердых примесей из жидкостей, выделенных на мембранном фильтре, путем микроскопического счета. Область применения ограничена размером частиц 5 мкм и более.
DIN 50452-1:1995 История
1995DIN 50452-1:1995-11 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Метод испытаний для анализа частиц в жидкостях. Часть 1. Микроскопическое определение частиц.
1995DIN 50452-1:1995 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Метод испытаний для анализа частиц в жидкостях. Часть 1. Микроскопическое определение частиц.