DIN 50443-1:1988 Испытание материалов для использования в полупроводниковой технике; обнаружение кристаллических дефектов и неоднородностей в монокристаллах кремния методом рентгеновской топографии
Настоящий стандарт определяет методы распознавания дефектов и неоднородностей в полупроводниковых монокристаллах кремния методом рентгеновской топографии.
DIN 50443-1:1988 История
1988DIN 50443-1:1988 Испытание материалов для использования в полупроводниковой технике; обнаружение кристаллических дефектов и неоднородностей в монокристаллах кремния методом рентгеновской топографии