DIN EN ISO 25178-603:2014-02
Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 603. Номинальные характеристики бесконтактных приборов (фазосдвигающая интерферометрическая микроскопия) (ISO 25178-603:2013); Немецкая версия EN ISO 25178-603:2013.