В настоящем документе установлены технические требования, методы испытаний, правила контроля, требования к маркировке, упаковке, транспортированию и хранению 5%-ной смеси водорода и гелия. Настоящий документ распространяется на газовую смесь водорода и гелия с 5% содержанием водорода (далее называемую смесью газов с 5% водорода и гелия), используемую в электронной промышленности.Газовые смеси водорода и гелия с другими пропорциями компонентов могут быть использованы в качестве эталона.
T/CHBAS 27-2022 История
2022T/CHBAS 27-2022 Газовая смесь 5% водород/гелий для электронной промышленности