UNE-EN 62047-5:2011 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 5. RF MEMS-переключатели (одобрено AENOR в ноябре 2011 г.)
2011UNE-EN 62047-5:2011 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 5. RF MEMS-переключатели (одобрено AENOR в ноябре 2011 г.)