В этом документе указаны термины и определения, технические требования к кремниевым пластинам, процесс производства полупроводниковых кремниевых пластин, методы испытаний, контрольные знаки, упаковка, транспортировка, хранение и сертификаты качества. Этот документ относится к новой технологии производства полупроводниковых кремниевых материалов.
T/SHDSGY 135-2023 История
2023T/SHDSGY 135-2023 Новая энергетическая технология производства полупроводниковых кремниевых пластин
2022T/SHDSGY 135-2022 Технические характеристики суперплоской пластины из алюминиевого сплава