GB/T 41153-2021
Определение содержания примесей бора, алюминия и азота в монокристалле карбида кремния — масс-спектрометрия вторичных ионов. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 41153-2021
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2021
- Разместил
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- Последняя версия
- GB/T 41153-2021
- сфера применения
- В этом документе определен метод вторично-ионной масс-спектрометрии на содержание примесей бора, алюминия и азота в монокристалле карбида кремния. Этот документ применим к количественному анализу содержания примесей бора, алюминия и азота в монокристалле карбида кремния. 1015см-3, концентрация элемента (атомный процент) не более 1%. Примечание 1. Содержание измеряемого элемента в монокристалле карбида кремния рассчитывается по числу атомов на кубический сантиметр. Примечание 2: Определение содержания примеси ванадия в монокристалле карбида кремния можно использовать в этом документе, а диапазон определения таков, что содержание ванадия составляет не менее 1×1013 см-3.
GB/T 41153-2021 Ссылочный документ
- GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
- GB/T 22461 Химический анализ поверхности. Словарь.
- GB/T 32267 Терминология тестирования производительности аналитического прибора
GB/T 41153-2021 История
- 2021 GB/T 41153-2021 Определение содержания примесей бора, алюминия и азота в монокристалле карбида кремния — масс-спектрометрия вторичных ионов.
