В этом документе описан метод определения содержания кислорода в фотоэлектрических кремниевых материалах путем импульсного нагревания в инертном газе с помощью инфракрасного поглощения. Этот документ применим к определению содержания кислорода в фотоэлектрических кремниевых материалах, таких как сырой кремниевый порошок, технический кремний и гранулированный поликремний. для производства поликремния.Диапазон измерений от 0,0010% до 0,40% массовой доли кислорода.В качестве эталона используются другие типы кристаллических кремниевых материалов для производства фотоэлектрических модулей.
GB/T 40561-2021 Ссылочный документ
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 6379.2 Точность (правильность и точность) методов измерения и результатов. Часть 2: Основной метод определения повторяемости и воспроизводимости стандартного метода измерения.
GB/T 8170 Правила округления числовых значений и выражения и определения предельных значений
GB/T 40561-2021 История
2021GB/T 40561-2021 Фотоэлектрический кремниевый материал. Определение кислорода. Метод импульсного нагрева инертным газом, метод инфракрасного поглощения.