SJ/T 11829.2-2022
Оборудование для плазменного химического осаждения из паровой фазы (PECVD) для фотоэлектрических элементов из кристаллического кремния. Часть 2: Пластинчатое оборудование PECVD (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 11829.2-2022

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2022

Разместил

Professional Standard - Electron

Последняя версия

SJ/T 11829.2-2022

SJ/T 11829.2-2022 История

• 2022 SJ/T 11829.2-2022 Оборудование для плазменного химического осаждения из паровой фазы (PECVD) для фотоэлектрических элементов из кристаллического кремния. Часть 2: Пластинчатое оборудование PECVD