YS/T 1164-2016 Определение содержания примесей в кварцевых изделиях высокой чистоты для кремниевых материалов - Эмиссионная спектрометрия с индуктивно связанной плазмой (Англоязычная версия)
2016YS/T 1164-2016 Определение содержания примесей в кварцевых изделиях высокой чистоты для кремниевых материалов - Эмиссионная спектрометрия с индуктивно связанной плазмой