T/CNIA 0175-2022
Метод отбора проб газообразных загрязняющих веществ в водородосодержащих выхлопных газах стационарных источников загрязнения при производстве поликристаллического кремния (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/CNIA 0175-2022

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2022

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/CNIA 0175-2022

сфера применения

Настоящим документом определен метод отбора проб газообразных загрязняющих веществ из водородосодержащих выпускных отверстий элюентных башен и других стационарных источников загрязнения при производстве поликремния. Настоящий документ применим к отбору проб газообразных загрязняющих веществ в водородосодержащих выбросах элюирующих башен и других стационарных источников загрязнения при производстве поликремния.

T/CNIA 0175-2022 История

• 2022 T/CNIA 0175-2022 Метод отбора проб газообразных загрязняющих веществ в водородосодержащих выхлопных газах стационарных источников загрязнения при производстве поликристаллического кремния