YS/T 1060-2015
Определение содержания других хлорсиланов в трихлорсилане для эпитаксии кремния методом газовой хроматографии (Англоязычная версия)

Стандартный №

YS/T 1060-2015

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2015

Разместил

工业和信息化部

Последняя версия

YS/T 1060-2015

YS/T 1060-2015 История

• 2015 YS/T 1060-2015 Определение содержания других хлорсиланов в трихлорсилане для эпитаксии кремния методом газовой хроматографии